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空気清浄 28巻 1号

発行元
日本空気清浄協会
ISSN
0023-5032
ISSN（オンライン）
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巻
号
開始頁
JIS表面付着粒子計数器 (ウェーハ表面)
向阪保雄
大阪府立大学
空気清浄 28 (1) 483-483, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
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日本工業規格 表面付着粒子計数器原案
日本空気清浄協会

空気清浄 28 (1) 484-497, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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エアロゾル粒子のウェハ表面への沈着
島田学*, 奥山喜久夫*
*大阪府立大学工学部
空気清浄 28 (1) 498-504, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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ウェーハ・ゴミ検出装置
小林雅紀
(株)トプコン
空気清浄 28 (1) 505-510, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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WIS-850
高野英夫
キャノン販売(株)
空気清浄 28 (1) 511-514, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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レーザ表面検査装置
八掛保夫*, 細江卓朗*, 米沢信夫**, 太田英夫**
*日立電子エンジニアリング(株) 埼玉工場装置部, **営業本部技術部
空気清浄 28 (1) 515-518, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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表面パーティクルモニター
大戸時喜雄*, 財津靖史*, 星川寛*, 杉本啓介**, 難波泰明**
*(株)富士電気総合研究所, **富士電機(株)
空気清浄 28 (1) 519-520, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
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ウェハ表面検査装置C2644について
犬塚英治
浜松ホトニクス(株)システム事業部
空気清浄 28 (1) 521-524, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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米国PMS社の表面付着粒子計数器
新田晃久*, 吉田典生*
*ニッタ(株)研究開発本部CCS開発課
空気清浄 28 (1) 525-530, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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エアロゾル定数発生器 JSR AEROMASTER
池谷俊彦
日本合成ゴム(株)
空気清浄 28 (1) 531-536, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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ウェハ洗浄
鈴木道夫
日立プラント建設(株)
空気清浄 28 (1) 537-544, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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静電気について
増田閃一
福井工業大学
空気清浄 28 (1) 545-545, 1990.
  • アブストラクト： 従量制は110円（税込）、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード： 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
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