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特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 「エレクトロニクス産業における粒子汚染を主としたコンタミネーションコントロールに関する討論」
下野次男*1, 浅田敏勝*2, 深尾仁*3, 鈴木道夫*4, 前田和夫*5, 山川洋幸*6, 安岡修一*7,*8
*1日本電気株式会社 資源環境技術研究所環境技術研究部研究課長 理学博士, *2日本IBM株式会社 藤沢工場 製造技術開発・環境制御技術開発プログラム担当主管生産技術エンシニア・部長, *3大成建設株式会社 技術研究所 計画研究グループ 環境計画チーム 主任研究員, *4日立プラント建設株式会社 空調プラント事業本部 技術本部 副技師長, *5株式会社半導体プロセス研究所 代表取締役 工学博士, *6日本真空技術株式会社 取締役技術開発部長 工学博士, *7日本無機株式会社 特別嘱託, *8(社) 日本空気清浄協会 編集委員 兼司会
空気清浄 30 (3) 218-227, 1992.
*1日本電気株式会社 資源環境技術研究所環境技術研究部研究課長 理学博士, *2日本IBM株式会社 藤沢工場 製造技術開発・環境制御技術開発プログラム担当主管生産技術エンシニア・部長, *3大成建設株式会社 技術研究所 計画研究グループ 環境計画チーム 主任研究員, *4日立プラント建設株式会社 空調プラント事業本部 技術本部 副技師長, *5株式会社半導体プロセス研究所 代表取締役 工学博士, *6日本真空技術株式会社 取締役技術開発部長 工学博士, *7日本無機株式会社 特別嘱託, *8(社) 日本空気清浄協会 編集委員 兼司会
空気清浄 30 (3) 218-227, 1992.
- アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
- 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。