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空気清浄 30巻 3号

発行元
日本空気清浄協会
ISSN
0023-5032
ISSN(オンライン)

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開始頁
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 会長退任のご挨拶
藤井正一
(社) 日本空気清浄協会 前会長
空気清浄 30 (3) 190-190, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 会長挨拶
吉澤晋
(社) 日本空気清浄協会 会長
空気清浄 30 (3) 191-191, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 窒素ガスによるウェハの気流搬送
都田昌之1), 宍戸昌広1), 菅野洋一2), 梅田優3), 新田雄久4), 大見忠弘5)
1)山形大学工学部物質工学科, 2)(株) 本山製作所, 3)(株) 渡邊商行, 4)(株) 日立製作所デバイス開発センター, 5)東北大学工学部電子工学科
空気清浄 30 (3) 192-203, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) IC製造自動化のための標準化
黒田久雄
NTTグループ事業推進本部
空気清浄 30 (3) 204-217, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 「エレクトロニクス産業における粒子汚染を主としたコンタミネーションコントロールに関する討論」
下野次男*1, 浅田敏勝*2, 深尾仁*3, 鈴木道夫*4, 前田和夫*5, 山川洋幸*6, 安岡修一*7,*8
*1日本電気株式会社 資源環境技術研究所環境技術研究部研究課長 理学博士, *2日本IBM株式会社 藤沢工場 製造技術開発・環境制御技術開発プログラム担当主管生産技術エンシニア・部長, *3大成建設株式会社 技術研究所 計画研究グループ 環境計画チーム 主任研究員, *4日立プラント建設株式会社 空調プラント事業本部 技術本部 副技師長, *5株式会社半導体プロセス研究所 代表取締役 工学博士, *6日本真空技術株式会社 取締役技術開発部長 工学博士, *7日本無機株式会社 特別嘱託, *8(社) 日本空気清浄協会 編集委員 兼司会
空気清浄 30 (3) 218-227, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 日本工業規格「空中浮遊菌測定器の捕集性能試験方法」 (原案) について
森地敏樹
原案作成委員会委員長, 日本大学農獣医学部
空気清浄 30 (3) 228-228, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 日本工業規格 JIS K XXXX_199X 空中浮遊菌測定器の捕集性能試験方法
森地敏樹
日本大学農獣医学部畜産学科教授
空気清浄 30 (3) 229-238, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 日本工業規格 生物学用クラスII安全キャビネット原案報告にあたって
日野茂男
鳥取大学医学部
空気清浄 30 (3) 239-240, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 日本工業規格 JIS K XXXX_1992 生物学用クラスII安全キャビネット
日野茂男
鳥取大学医学部
空気清浄 30 (3) 241-260, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) 日本工業規格 クリーンルーム用エアフィルタの性能試験方法原案作成について
横地明
原案調査作成委員会 委員長, 東海大学
空気清浄 30 (3) 261-261, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
特集 クリーンウェハ搬送とIC製造自動化 (2) クリーンルーム用エアフィルタの性能試験方法 (原案)
横地明
東海大学
空気清浄 30 (3) 262-274, 1992.
  • アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
第11回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会 会長賞 会長奨励賞決定報告
日本空気清浄協会

空気清浄 30 (3) 275-275, 1992.
  • 全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。