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空気清浄
46巻 3号(2008)
空気清浄 46巻 3号
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発行元
日本空気清浄協会
ISSN
0023-5032
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巻頭言 地球環境と空気清浄 (空調技術)
柏瀬芳昭
株式会社朝日工業社 技術企画部長兼技術研究所長
空気清浄
46 (3)
173-174, 2008.
アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
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特集 今後の半導体製造に求められるクリーンルーム環境 特集にあたって
鈴木道夫
日立プラント建設サービス株式会社
空気清浄
46 (3)
175-175, 2008.
アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に121円(税込) です。
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ITRS2007におけるウエハ環境制御の技術的要求
津金賢
株式会社日立製作所 マイクロデバイス事業部
空気清浄
46 (3)
176-180, 2008.
アブストラクト: 従量制は110円(税込)、基本料金制は基本料金に含まれます。
全文ダウンロード: 従量制、基本料金制の方共に770円(税込) です。
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半導体プロセスへの分子汚染の影響
白水好美
NECエレクトロニクス株式会社 生産本部プロセス技術部
空気清浄
46 (3)
181-188, 2008.
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製造装置・搬送環境の分子汚染制御
清田久晴
ソニー株式会社 もの造り技術センター 生産技術推進室
空気清浄
46 (3)
189-194, 2008.
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汚染計測の現状と課題
西萩一夫
株式会社テクノス 技術顧問
空気清浄
46 (3)
195-202, 2008.
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コントロールグリッド付き軟X線式ジェットイオナイザの除電特性
作山昌史1), 池畑隆2), 岡野一雄3)
1)茨城大学大学院理工学研究科, 2)茨城大学, 3)職業能力開発総合大学校
空気清浄
46 (3)
203-209, 2008.
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オゾンによる「食品加工工場, 飲食店舗の調理排気脱臭」(「水ミストとオゾン」による調理排気脱臭事例)
小阪教由
東急車輔製造株式会社 オゾン担当
空気清浄
46 (3)
210-216, 2008.
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BUEE 2008参加報告
鍵直樹
国立保健医療科学院
空気清浄
46 (3)
217-218, 2008.
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室内バイオエアロゾルの動態と制御 講座開設にあたって
山崎省二
日本ダクトクリーニング協会学術顧問
空気清浄
46 (3)
219-219, 2008.
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(第1回) 室内における環境細菌の動態
狩野文雄
東京都健康安全研究センター
空気清浄
46 (3)
220-229, 2008.
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PFOSの国内外における規制に関する動向
片岡敏行
財団法人化学物質評価研究機構 環境技術部
空気清浄
46 (3)
230-237, 2008.
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右手に特許・左手に論文
藤井敏昭
株式会社荏原総合研究所, (元)埼玉大学・客員教授
空気清浄
46 (3)
238-240, 2008.
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バイオエアロゾルヴィジュアル (シリーズ2) グロリオーサ (シリーズ3) ヘラオオバコ
佐橋紀男
東邦大学
空気清浄
46 (3)
241-241, 2008.
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